發(fā)布時間:2023-11-15 23:18:25
半導(dǎo)體廠務(wù) 漏液偵測系統(tǒng)
首先,半導(dǎo)體制造是一門高度精密的工藝,涉及到復(fù)雜的設(shè)備、化學(xué)物質(zhì)和工藝流程。在這個過程中,各種液體如化學(xué)試劑、腐蝕劑、冷卻劑等被用于晶圓加工、清洗和冷卻。這些液體在生產(chǎn)過程中扮演著至關(guān)重要的角色,但也帶來了潛在液體泄漏風(fēng)險。
半導(dǎo)體廠務(wù)漏液的危害
主要表現(xiàn)在以下幾個方面:
1.生產(chǎn)中斷:液體泄漏可能導(dǎo)致生產(chǎn)線的緊急停機(jī),這會帶來嚴(yán)重的生產(chǎn)損失和交貨延誤。
2.環(huán)境污染:半導(dǎo)體工廠使用的化學(xué)品和工藝液體可能對環(huán)境造成污染,對周圍社區(qū)和自然生態(tài)系統(tǒng)產(chǎn)生負(fù)面影響。
3.設(shè)備受損:某些液體可能對生產(chǎn)設(shè)備造成腐蝕或損害,導(dǎo)致昂貴的維修和更換。
4.安全威脅:某些液體對人員的健康和安全構(gòu)成威脅,可能引發(fā)事故和傷害。
因此,半導(dǎo)體廠務(wù)必須采取有效措施來監(jiān)測和控制漏液情況,祥為半導(dǎo)體廠房漏液偵測系統(tǒng)剛好彌補(bǔ)這一缺陷,可以有效的保障生產(chǎn)安全和環(huán)境安全。
漏液偵測系統(tǒng)通常由測漏控制器、水浸繩、配件等組成。因半導(dǎo)體工廠里液體多為純水、自來水、冰水、酸堿藥液、有機(jī)溶液等,需根據(jù)實際檢測液體選擇合適的水浸繩,如普通水可選用XW1000漏水感應(yīng)線,如酸堿藥液可選用XW2000漏酸感應(yīng)線。
半導(dǎo)體廠務(wù)的漏液偵測系統(tǒng)主要監(jiān)測生產(chǎn)線管道、廢水管道、廢水處理站等有水源區(qū)域的漏水情況。當(dāng)發(fā)生漏水時,系統(tǒng)能及時準(zhǔn)確地檢測到并通過監(jiān)控系統(tǒng)發(fā)出報警通知工作人員。同時,它可以聯(lián)動排水設(shè)備排水,如果漏水隱患分布范圍較廣,還可以進(jìn)行定位,監(jiān)測漏水的具體位置,以便迅速找到泄漏點,及時處理,避免造成巨大損失。
半導(dǎo)體廠務(wù)的漏液偵測系統(tǒng)主要功能體現(xiàn):1.早期發(fā)現(xiàn)漏液并快速響應(yīng)報警通知處理;2.泄漏位置精準(zhǔn)報告顯示;3.數(shù)據(jù)記錄(包括泄漏時間、位置、液體類型),保障合法合規(guī),避免潛在的罰款與法律問題。
半導(dǎo)體廠務(wù)對環(huán)境的潔凈要求非常高,同時其生產(chǎn)線具有特殊性,車間內(nèi)管道眾多。一旦管道發(fā)生泄漏未能及時處理,將導(dǎo)致生產(chǎn)線停線,由于管道內(nèi)液體具有腐蝕性,泄漏還可能威脅工作人員的安全。而漏液偵測系統(tǒng)的主要職責(zé)是監(jiān)測半導(dǎo)體廠區(qū)管道是否發(fā)生泄漏,一旦出現(xiàn)漏液和漏水情況,漏液偵測系統(tǒng)會通過外接設(shè)備以聲光報警、短信、電話、軟件監(jiān)控平臺告警等方式告知值班人員早期發(fā)現(xiàn)漏水及時處理,避免造成不可估量的損失。