發(fā)布時(shí)間：2023-11-15 23:18:25
半導(dǎo)體廠務(wù) 漏液偵測(cè)系統(tǒng)
首先，半導(dǎo)體制造是一門高度精密的工藝，涉及到復(fù)雜的設(shè)備、化學(xué)物質(zhì)和工藝流程。在這個(gè)過(guò)程中，各種液體如化學(xué)試劑、腐蝕劑、冷卻劑等被用于晶圓加工、清洗和冷卻。這些液體在生產(chǎn)過(guò)程中扮演著至關(guān)重要的角色，但也帶來(lái)了潛在液體泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
半導(dǎo)體廠務(wù)漏液的危害
主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
1.生產(chǎn)中斷：液體泄漏可能導(dǎo)致生產(chǎn)線的緊急停機(jī)，這會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重的生產(chǎn)損失和交貨延誤。
2.環(huán)境污染：半導(dǎo)體工廠使用的化學(xué)品和工藝液體可能對(duì)環(huán)境造成污染，對(duì)周圍社區(qū)和自然生態(tài)系統(tǒng)產(chǎn)生負(fù)面影響。
3.設(shè)備受損：某些液體可能對(duì)生產(chǎn)設(shè)備造成腐蝕或損害，導(dǎo)致昂貴的維修和更換。
4.安全威脅：某些液體對(duì)人員的健康和安全構(gòu)成威脅，可能引發(fā)事故和傷害。
因此，半導(dǎo)體廠務(wù)必須采取有效措施來(lái)監(jiān)測(cè)和控制漏液情況，祥為半導(dǎo)體廠房漏液偵測(cè)系統(tǒng)剛好彌補(bǔ)這一缺陷，可以有效的保障生產(chǎn)安全和環(huán)境安全。
漏液偵測(cè)系統(tǒng)通常由測(cè)漏控制器、水浸繩、配件等組成。因半導(dǎo)體工廠里液體多為純水、自來(lái)水、冰水、酸堿藥液、有機(jī)溶液等，需根據(jù)實(shí)際檢測(cè)液體選擇合適的水浸繩，如普通水可選用XW1000漏水感應(yīng)線，如酸堿藥液可選用XW2000漏酸感應(yīng)線。
半導(dǎo)體廠務(wù)的漏液偵測(cè)系統(tǒng)主要監(jiān)測(cè)生產(chǎn)線管道、廢水管道、廢水處理站等有水源區(qū)域的漏水情況。當(dāng)發(fā)生漏水時(shí)，系統(tǒng)能及時(shí)準(zhǔn)確地檢測(cè)到并通過(guò)監(jiān)控系統(tǒng)發(fā)出報(bào)警通知工作人員。同時(shí)，它可以聯(lián)動(dòng)排水設(shè)備排水，如果漏水隱患分布范圍較廣，還可以進(jìn)行定位，監(jiān)測(cè)漏水的具體位置，以便迅速找到泄漏點(diǎn)，及時(shí)處理，避免造成巨大損失。
半導(dǎo)體廠務(wù)的漏液偵測(cè)系統(tǒng)主要功能體現(xiàn)：1.早期發(fā)現(xiàn)漏液并快速響應(yīng)報(bào)警通知處理；2.泄漏位置精準(zhǔn)報(bào)告顯示；3.數(shù)據(jù)記錄（包括泄漏時(shí)間、位置、液體類型），保障合法合規(guī)，避免潛在的罰款與法律問(wèn)題。
半導(dǎo)體廠務(wù)對(duì)環(huán)境的潔凈要求非常高，同時(shí)其生產(chǎn)線具有特殊性，車間內(nèi)管道眾多。一旦管道發(fā)生泄漏未能及時(shí)處理，將導(dǎo)致生產(chǎn)線停線，由于管道內(nèi)液體具有腐蝕性，泄漏還可能威脅工作人員的安全。而漏液偵測(cè)系統(tǒng)的主要職責(zé)是監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體廠區(qū)管道是否發(fā)生泄漏，一旦出現(xiàn)漏液和漏水情況，漏液偵測(cè)系統(tǒng)會(huì)通過(guò)外接設(shè)備以聲光報(bào)警、短信、電話、軟件監(jiān)控平臺(tái)告警等方式告知值班人員早期發(fā)現(xiàn)漏水及時(shí)處理，避免造成不可估量的損失。
